中古 ULVAC SMD-850BX3 #9285784 を販売中

アルバックSMD-850BX3スパッタリング装置は、金属、セラミックス、半導体、誘電体など多種多様な材料を基板にコーティングすることで薄膜層を形成する先進的な方法です。その高度な機能には、超短パルスDC （Direct Current）マグネトロンスパッタリングソース、オープンロードのシャットオフシステム、オプションの自動レシピモードなどがあります。このユニットは高い均一性と蒸着率を持ち、様々な産業で使用される薄膜層の大量生産に適しています。SMD-850BX3は、真空レベルの5x10-6Paと150°Cの最高温度で直径5インチ、厚さ5インチまでの負荷容量を持っています。このマシンは、2つの独立したスパッタリング源を使用して、1つの基板上に2つの異なる層の薄膜を作成することができます。その他の特徴としては、多層蒸着、2つの異なる材料を同時にスパッタする能力、厚さや粒子の変化のない均一な膜の堆積層があります。ULVAC SMD-850BX3スパッタリングツールにはコンパクトなターボ分子ポンプが搭載されており、迅速な避難と高いガス圧縮のための高速ポンプを可能にします。また、開放負荷遮断アセットも備えており、チャンバー圧力が低すぎると自動的にモデルを遮断し、アンバランス圧力による損傷を防ぎます。さらに、装置にはオプションの自動レシピモードがあり、特定の堆積プロセスに必要な条件を自動的に設定するようにプログラムすることができます。SMD-850BX3は、幅広い用途に優れた均一性と蒸着率を提供する信頼性と費用対効果の高いスパッタリングシステムです。直感的な操作ユニットは使いやすく、小規模実験室と工業生産の両方に適しています。さらに、その高度な機能と機能は、基板が適切な材料で一貫してコーティングされていることを保証し、薄膜の一貫した層を提供します。