中古 ULVAC SMD-850BX #9285746 を販売中

アルバックSMD-850BXスパッタリング装置は、金属、合金、誘電体、セラミック材料の薄膜の均一で滑らかなスパッタリング成膜を提供するように設計された汎用性と高性能システムです。このユニットは、真空チャンバーと様々なプラズマ誘発プロセスを使用して、移動基板に膜を堆積させます。SMD-850BXは、惑星基板ホルダーを利用し、ターゲット表面から基板上にスパッタ材料にカスタムスパッタターゲットまたは円形マグネトロン配置を提供します。アルバックの革新的なプラズマ制御技術により、高精度で再現性のあるプロセスを実現し、信頼性の高い均一な蒸着を実現します。この機械は、イオン補助エッチングおよび洗浄プロセスを可能にする高性能イオン源を備えており、また、様々な処理中に望ましいプラズマ化学状態を維持するための高度なガス制御技術を誇っています。ULVAC SMD-850BXは、安定した成膜とエッチングを可能にするように設計されたプラネタリ基板ホルダーにより、さまざまなサイズと形状のワークを幅広く取り揃えています。このスパッタリングアセットは、高度な4軸電磁モーションコントロールツールにより、正確で均一なスパッタリング成膜を提供し、同時に温度を正確に制御します。SMD-850BXモデルは、コントローラーを内蔵した強力な均一性コントロールと、フィードフォワードおよびフィードバック制御を提供します。さらに、この装置の基板バイアス電圧供給により、堆積プロセス中のイオン注入を正確に制御することができます。ULVAC SMD-850BXはまた、スパッタプロセスを徹底的かつリアルタイムに監視するための高度なプラズマ分析を提供し、複数のプロセスチャンバーを統合する機能を提供します。このスパッタリングシステムは、さまざまなスパッタリングのニーズに合わせて複数の構成のオプションで、さまざまなガスや材料の種類に対応しています。このユニットは、1E-4 Paから1E-6 Paの真空範囲で動作し、金属、合金、セラミックス、誘電材料などの材料からの堆積物に使用することができます。SMD-850BXは、コーティングされたガラス、光学フィルム、太陽電池、液晶ディスプレイ、回路基板、およびその他のさまざまな製品およびアプリケーション用の薄膜の沈着に理想的なスパッタリングソリューションです。