中古 ULVAC SMD-750 #9213455 を販売中

ULVAC SMD-750スパッタリング装置は、薄膜をさまざまなタイプの基板に堆積させるために使用される、汎用性の高いユーザーフレンドリーなスパッタリングシステムです。半導体デバイス、フラットパネルディスプレイ、オプトエレクトロニクスなど、幅広い用途に最高品質の薄膜を提供するように設計されています。ユニットは真空チャンバー、プロセスチャンバー、制御機で構成されています。真空チャンバには、自動粗加工および微調整の真空プロセスが装備されています。これは、最適な成膜に必要な5 x 10-8 Paの所定の基圧を達成するために使用されます。制御ツールは、最適なフィルム蒸着を達成するために作業室内の圧力を監視および調整するようにプログラムされています。プロセス部屋は材料の最適のスパッタリングのためのきれいな環境を保障するためにステンレス鋼の上塗を施してある表面を使用して組み立てられます。このチャンバーには最大8つの独立したスパッタ源が取り付けられており、複数のターゲットと材料を同時に堆積させることができます。ULVAC SMD 750は、金属、誘電体、セラミック、半導体などの幅広いターゲット材料、および材料の組み合わせを処理することができます。SMD-750はクローズドループのプロセス制御アセットを備えており、基板の位置、ガスの流れ、温度を正確に制御できます。これは、フィルムが均一な厚さと構成を持っていることを保証します。このモデルはまた、長期生産に最適なプロセスパラメータを維持する自動腐食保護装置を備えています。SMD 750は、金属、誘電体、セラミック、および半導体材料の薄膜を均一な厚さと組成で堆積するために使用できる信頼性と汎用性の高いスパッタリングシステムです。このユニットには、自動粗加工および微調整の真空プロセスと、基板の位置決め、ガスの流れ、および温度を正確に制御するためのクローズドループのプロセス制御マシンが装備されています。このツールの腐食防止アセットは、長期的な動作を保証し、幅広い薄膜成膜アプリケーションに理想的な選択肢となります。