中古 ULVAC SMD-750 #293661856 を販売中

ULVAC SMD-750は、薄膜蒸着システムの日本メーカーであるULVAC、 Inc。によって製造された最高級のスパッタ装置です。高精度の回転式タレットを搭載し、スパッタリングターゲットの正確な位置決めとターゲティングを可能にし、望ましい膜厚と地形を作成します。ULVAC SMD 750は中型スパッタリングユニットで、MEMS、半導体、光学部品など様々な用途に最適です。SMD-750マシンには2つの独立したイオン源が装備されており、混合スパッタリングとイオン注入アプリケーションを可能にします。7kVAの電源で、SMD 750は高性能スパッタリングとイオン注入を提供し、さまざまな基板に異なる材料を正確に堆積させることができます。また、アルバックSMD-750は高精度の自動アームポジショナーを採用しており、スパッタリングチャンバー内にサンプルやターゲットを簡単かつ確実に配置することができます。ULVAC SMD 750は、調整可能な周波数電源、独立したガス流量制御、フィルム成長の現場監視用の高精度センサー、および正確で再現性の高いスパッタリングおよびイオン注入プロセスを保証するための包括的なクローズドループ制御ツールなど、豊富なプロセス制御機能を提供します。また、スパッタリングチャンバー内の温度はセンサーによって注意深く監視され、スパッタリング動作中に正確な温度制御が可能です。SMD-750資産は、半導体産業およびその他の関連産業の厳しい安全および環境基準を満たすように設計されています。環境安全を確保するため、NFPA 70E安全規格の厳しい基準を満たしています。この装置には、安全な動作環境を確保するために、排気のろ過や排ガス監視システムなどの高度な安全装置が装備されています。SMD 750は、薄膜ベースの部品の信頼性の高い生産のために設計された革新的なスパッタリングシステムです。最先端のコントロールを備えた包括的なスイートで、ULVAC SMD-750は、最高レベルの繰り返し可能で再現性のあるスパッタリング性能を発揮するように設計されています。ULVAC SMD 750のパワーと高度なプロセスコントロールにより、メモリ、自動車、その他の業界のスパッタリング関連アプリケーションに最適です。