中古 ULVAC SMD-650C #9398723 を販売中

ULVAC SMD-650C装置は、光学デバイスや電子デバイスの新世代のコーティング基板などの用途に最適な高性能スパッタリングシステムです。SMD-650Cユニットは、優れたプロセスの再現性、均一性、および高スループットを組み合わせて、スループットを最大化し、長期的な安定性をさらに高めるためのオプションを提供します。機械は最適な性能のために結合されたマグネトロンの陰極および平面のcollinear平行ターゲット整理を使用します。ULVAC SMD-650Cは、最大6つのターゲットを同時にスパッタできる広域スパッタ源を誇っています。これにより、高い変動出力が可能となり、エンジニアは基板の特異性に合わせて成膜プロファイルをカスタマイズし、基板の均一性を最大化することができます。SMD-650Cは蒸着プロセスを保護し、粒子の汚染を制御するために真空の避難メカニズムが装備されています。脱水機構は、蒸着源の乱流を低減し、原料部品を摩耗から保護するように設計されています。このツールには、セルフリマインダーアセットが内蔵されており、オペレータに定期的にモデルを検査および維持するように警告します。ULVAC SMD-650Cは、再現性と寿命を確保するために高精度の機械部品で構成されています。様々な部品を丁寧に組み立て、1台のコンパクトな操作ユニットを構築し、セットアップ、運用、メンテナンスを簡素化します。SMD-650Cはオペレータの効率を最大にするためにできるだけユーザーフレンドリーであるように設計されています。プロセスパラメータはプロセスセットアップを促進し、ハードウェアとソフトウェアのモニタリングオプションはプロセスコンディションの即時評価を容易にします。ユーザーフレンドリーなグラフィックユーザーインターフェイスは、正確なレシピチューニングと監視のためのプロセスパラメータに関する継続的なフィードバックを提供します。オペレータが24時間体制で作業する必要があることを認識して、機器には直感的なリモートコントロールとリモートモニタリングソフトウェアが含まれています。ULVAC SMD-650Cは、クリーンで欠陥のない成膜結果を提供できる包括的なシステムです。長期間にわたって安定した成膜プロセスを提供できる信頼性の高いユニットです。蒸着性能の正確な再現性と均一性を提供することにより、先進的な薄膜蒸着に従事する研究開発ラボに最適です。最後に、その費用対効果の高い設計により、SMD-650Cは一貫したパラメータを備えた高品質の薄膜を製造できる弾力性のあるスパッタリングツールを必要とする業界にとって理想的なソリューションとなります。