中古 ULVAC SMD-450SP #9301075 を販売中

ULVAC SMD-450SPは、高精度の薄膜成膜用に設計されたスパッタ装置です。スパッタリングとは、物理的な力を使用してターゲット材料から原子を取り出し、それらを基板に堆積させる物理蒸着（PVD）プロセスです。SMD-450SPは、2つのマグネトロンと1つの陰極という3つのスパッタリング源をサポートする、コンパクトで操作が簡単で使いやすいシステムです。リモート管理機能や測定機能など、信頼性の高いプロセス管理および監視機能を備えています。ULVAC SMD-450SPは、最大3,000WのDCまたはパルスDC電源を使用したマグネトロンスパッタリング源で設計されており、金属、酸化物、窒化物フィルムのターゲット材料を幅広く選択できます。このユニットには独立した陰極スパッタリング源も装備されており、低温基板を必要とする反応スパッタリングプロセスとプロセスをサポートしています。このマシンの他の機能には、より高いレベルの安全性、スループットの向上、マルチソース並列プロセス機能が含まれます。スパッタリングツールにSMD-450SP、精密で繰り返し可能なプロセスシーケンス生成、スパッタリング条件を監視する機能、プロセスステータスおよびアラーム通知など、優れたプロセス制御オプションがあります。1バッチあたりの消費電力と時間を最小限に抑えるワンステッププロセスで、中小規模の生産に最適です。その模範的なプロセス再現性と制御性により、一貫した高品質の製品を保証します。アルバックのSMD-450SPはまた優秀な安全機能を提供します。それは空気絶縁されたエンクロージャと設計されています、塵および煙からの高いレベルのEMIの免疫そして保護を提供します。また、最新の安全基準およびコンプライアンス基準に準拠するための国際電気技術委員会の要件および認定にも準拠しています。SMD-450SPスパッタリングアセットは直感的でユーザーフレンドリーで、インストール、操作、メンテナンスが簡単です。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスと直感的なプロセスモニタを搭載しているため、プロセスの監視、パラメータの調整、操作のスムーズな実行が容易に行えます。アルバックSMD-450SPスパッタリング装置は、高精度な薄膜堆積物と優れたプロセス制御を提供するために設計された優れたスパッタリングシステムです。直感的な設計、信頼性、安全性、プロセス再現性により、薄膜蒸着アプリケーションに最適です。