中古 ULVAC SMD-450B #9212812 を販売中

アルバックSMD-450Bは、半導体および電子産業における薄膜の成膜のための先進的なスパッタ装置です。セラミック基板から金属基板、ガラス基板まで、様々な基材に薄膜を成膜するために設計された多層成膜・加工チャンバを利用しています。SMD-450Bは、最大8つのマグネトロンスパッタリング源を使用する統合されたマルチチューブマグネトロンスパッタリングユニットを備えています。この機械を介して、エレマチック純粋なスパッタ材料を基板に適用することができ、正確で効率的なフィルムコーティングが可能です。スパッタリング源は、希土類元素、貴金属、化合物金属など、幅広い材料を取り扱うことができます。このツールはまた、蒸着チャンバに反応ガスを供給するガス供給アセットを備えています。これにより、酸化物、窒化物、およびその他のフィルムの成長が可能になります。ULVAC SMD-450Bは、均一で滑らかなコーティングプロセスを確保するために、3x10-3Paの低圧を達成することができる真空チャンバーを利用しています。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えたコントローラを備えているため、プロセスパラメータの追跡と自動レシピ制御が可能です。このモデルには、負荷/アンロードステーションが装備されており、真空を壊すことなく基板の設置、サービス、メンテナンスを可能にします。また、ULVAC Smart Factory Suiteとの互換性を備えたAutomation Readyオプションも含まれており、量産が可能です。これにより、ユニットは他のコンポーネントとデータを共有し、単一のインターフェイスで管理できるため、複数のULVAC機器を1つのワークフローに簡単に統合できます。全体的SMD-450B、スパッタリング装置は多層薄膜の堆積のための強力なツールです。精密なスパッタリング源、洗練されたガス供給システム、低圧真空チャンバー、直感的なユーザーインターフェースの組み合わせにより、正確で効率的なフィルムコーティングに最適です。