中古 ULVAC SMD-450 #9412542 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ULVAC SMD-450は、産業用に設計された汎用性と強力なスパッタリングシステムです。超高真空技術を駆使し、様々な材料の薄膜を様々な形状やサイズの製品に堆積させます。このシステムは、金属、酸化物、窒化物、およびアモルファスシリコンなどの幅広い材料を堆積することができます。そのため、オプトエレクトロニクス、マイクロストラクチャー、ナノテクノロジーなどの分野での研究に有用である。機械は2つの基本的なセクションで構成されます；部屋および排気の単位。チャンバーセクションには、サンプル加熱/冷却リアカバー、250mmフロントカバー、真空ベントバルブ、ガス入口/出口、真空ポンプラインが含まれています。処理室は、避難ステンレス鋼シリンダーで構成されています。この部屋は圧力および温度の点で均質性の高い程度を提供し、均質なスパッタリングを促進します。このチャンバーは、直径200mm、厚さ50mmまでのサンプルを受け入れることができます。排気ユニットは、ロードロックシステム、真空ポンプ、排気ライン、および可変磁場で構成されています。それは真空と大気環境の間の速い物質的な移動を、主要な部屋の大気を損なうことなく可能にします。ロードロックにより、迅速かつ効率的なサンプル交換が可能です。真空ポンプは、チャンバーに高度な真空を提供し、プロセス全体を通してそれを維持する責任があります。可変磁場は、ターゲットイオンビームの発生角度を操作し、スパッタされたフィルムの均一性を制御することができます。また、SMD-450にはターゲット電源、RFマッチングネットワーク、RFジェネレータ、高圧電源を搭載しています。ターゲット電源はターゲット材料にDC電源を適用し、調整されたスパッタ蒸着を可能にします。RFマッチングネットワークは、ターゲット材料とプラズマ間のインピーダンスマッチングを提供します。RFジェネレータは、ガス分子を通電させる高周波電力を生成し、自己持続的なプラズマ放電につながります。最後に、高電圧電源は、基板に印加されるバイアス電圧を生成し、膜厚と均一性を制御する役割を担っています。ULVAC SMD-450は、産業用途に一貫した信頼性の高いスパッタリング成膜を提供するように設計されています。高効率、それは材料工学およびナノテクノロジーの研究のための理想的な選択です。
まだレビューはありません