中古 ULVAC SMD-450 #9411767 を販売中
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ULVAC SMD-450は、薄膜を様々な基板に堆積させるために使用されるスパッタ装置です。複数のスパッタ源と材料を備えた先進的なシステムで、光学構造や電気構造、デバイスの製造などの用途に最適です。SMD-450は、シングルチャンバー、デュアルマグネトロンスパッタリングユニットであり、小型仕様でありながら、効率的かつ効果的なスパッタリングのために必要なすべてのコンポーネントを含んでいます。大型マグネトロンコイルを使用し、アルゴンイオンの強力なフラックスと幅広いターゲット材料を生成し、優れた接着性を持つ高純度フィルムの生産を可能にします。ULVAC SMD-450は、プラスチック、セラミック、ガラス、金属箔など、あらゆる厚さと材料の直径200mmまでの基板サイズと基板に対応できます。最大使用圧力7。5x 10-5 Torrで動作し、最大1000 ℃の基板温度に達することができます。スパッタリング源には、それぞれ独自のマグネトロンコイルを備えた2つの独立した密閉カソードが組み込まれています。最初のソースは、透明導電酸化物（TCO）およびその他のスパッタ材料に使用され、2番目のソースは、ステンレス鋼、アルミニウム、コバルトなどの金属層に使用されます。総出力電力は最大2。5kWに達することができ、迅速かつ効率的な堆積を可能にします。さらに、SMD-450のチャンバー環境は、その現場の大気テスターで正確に制御することができます。この工具は、低温蒸発および酸化条件のある材料の様々な層を堆積させるのに適しており、フィルム品質の制御を強化することができます。このアセットはまた、堆積プロセスを強化するための幅広いプロセス機能を提供します。これらの機能には、調整可能なドーピング、方向パルス沈着、マルチステップ沈着が含まれます。さらに、自動化されたプロセス制御により、容易で正確な成膜が可能になり、高い再現性と一貫した成膜が可能になります。結論として、ULVAC SMD-450スパッタリングモデルは、さまざまな基板上の薄膜を高速でクリーンで均一に堆積させるための最適なソリューションです。この装置は、フィルムパラメータを正確かつ正確に制御するとともに、さまざまな材料をスパッタすることができます。このシステムは、光学、エレクトロニクス、オートメーションの分野でさまざまなアプリケーションにとって貴重なツールです。
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