中古 ULVAC SMD-450 #9269738 を販売中
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ULVAC SMD-450は、産業用に設計された高品質のスパッタ装置です。SMD-450は、DC-マグネトロン、RF-マグネトロン、およびDC-ダイオードの複数の電源を使用して、薄膜層の材料を基板に堆積させる効率的かつ効果的な方法を提供します。このシステムは、金属、酸化物、窒化物、多層合金などのさまざまなターゲット材料をサポートすることができ、基板上の複雑で複雑な薄膜パターンを作成するために使用することができます。ULVAC SMD-450は強力なリニアモータと位置決めユニットで設計されており、薄膜層を適用する際の最高速度と精度を実現します。また、リモートコントロールツールを内蔵し、蒸着時間、電力、圧力、温度などのパラメータを正確に調整できます。さらに、プラズマ自動洗浄機能を搭載し、作業面から成膜副生成物を除去します。SMD-450の部屋は沈殿プロセスの最高の効率そして再現性を保障するように設計されていました。使いやすい制御モデルにより、使用される温度、圧力、ガスなどのパラメータを自動的に調整することができ、適用可能なデジタル薄膜層の種類における汎用性が向上します。また、沈殿プロセスを観察することができる水晶窓を備えており、沈殿物に対するリアルタイムのフィードバックを提供します。ULVAC SMD-450は、幅広い基板サイズ、厚さ、形状をカバーすることができるため、最新鋭の電流半導体を製造する理想的なスパッタリング装置です。基板サイズは最大4。5インチまで対応可能です。さらに、SMD-450はメンテナンスが非常に簡単で、使用中の介入を最小限に抑える必要があります。このユニットは、高品質の薄膜層の信頼性、再現性、費用対効果の高い成膜を可能にし、工業生産に最適なスパッタリングマシンです。
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