中古 ULVAC SMD-450 #9269735 を販売中

ULVAC SMD-450は、アルバック社製の高性能スパッタリング装置です。高度な全自動成膜プロセスにより、さまざまな材料の高品質で再現可能な薄膜成膜を可能にします。このシステムは、さまざまな真空チャンバ構成と互換性があるように設計されており、ユーザーフレンドリーなオペレーティングインターフェイスを備えています。SMD-450は、高いスパッタリング力と蒸着速度を実現できる堅牢なソースデザインを備えています。これは、450リットルの処理チャンバーの容積と4nm/sまでの最大蒸着速度を持っています。このユニットは、加熱チャック付きの回転基板ホルダーを備えており、最大300 RPMのサンプル回転速度を可能にします。直径200mmまでの基板に対応でき、様々な形状やサイズに合わせて成膜対象サイズをカスタマイズできます。ULVAC SMD-450は、保護されたスパッタ源を備えており、すべての基板に均一で反復可能なスパッタ堆積物を提供します。また、赤外線ピロメトリー、正確な温度監視とヒーターの制御、基板配置用の高速リロケータなど、いくつかのプロセス制御機能を内蔵しています。さらに、このツールにはロボットアームが内蔵されているため、基板の管理、ロード、アンロードが簡単に行えます。SMD-450は、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、チタンなどの材料を堆積することができるコンタクトフリースパッタリング資産です。このモデルは、さまざまな基板および部品にわたって均一な厚さスタイルの薄膜を製造するための信頼性と費用対効果の高い代替品です。アルバックSMD-450は、最先端の薄膜プロセスを研究開発するための優れたツールです。