中古 ULVAC SMD-450 #9269733 を販売中
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アルバックSMD-450は高性能で正確なスパッタリング装置です。それは性能および精密の点でさまざまな企業の厳密な標準に合うように設計されています。SMD-450は、エレクトロニクス、半導体、研究、太陽電池などの様々な用途に薄膜を堆積させるために、半導体や電子業界で最も顕著に使用されている強力なプラズマスパッタリングシステムです。ULVAC SMD-450は、直流(DC) マグネトロンRF電源を使用して、陰極ターゲットに電気的に重ね合わせたスパッタリングアークを作成します。このプロセスにより、材料は高速でスパッタされ、基板ターゲット上の薄い層に堆積します。フィルムは、アプリケーションの要件を満たすためにサイズと成形することができ、プロセス全体が制御された環境で行われます。スパッタリング工程で各種ガスを導入し、基板上に精密な薄膜成膜を実現します。広い領域で優れたプラズマ均一性を発揮し、高出力スパッタリングモードでも優れた均一性を発揮し、大量スパッタリングプロジェクトに最適です。可動性と柔軟性により、SMD-450はさまざまな組成で複雑な構造をスパッタすることができます。このユニットのもう一つの利点は、高精度スパッタコーティングに適していることです。また、優れたエッチング品質とフィルムの均一性を提供する改良された磁気設計を備えています。安全性と信頼性をサポートするために、ULVAC SMD-450は、安全回路チェック、緊急停止、ガス漏れ検出、火災予防システムなど、さまざまな安全機能と診断機能を備えています。さらに、この機械には複数の機械軸受があり、成膜安定性を向上させ、工具の寿命を延ばすのに役立ちます。さらに、多周波直流(DC) RF電源は、高い蒸着速度で均一で安定した層を生成します。SMD-450は、ユーザーがパラメータ設定を行い、パフォーマンスを監視できる自動操作とメンテナンスプログラムを備えているため、操作とメンテナンスが簡単です。自動車、航空宇宙、光学、医療など、さまざまな産業で使用できます。この資産は、金属、合金、および熱酸化SiO2を含む幅広い材料に対応できます。優れた均一性、高精度スパッタコーティング、高度な監視システムを備えたULVAC SMD-450は、現代のスパッタリング技術の優れた例です。
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