中古 ULVAC SMD-450 #9269730 を販売中

ULVAC SMD-450は、DCマグネトロンまたはダイオードスパッタ装置で、さまざまな基材上の薄膜の蒸着用に設計されています。この装置は、低濃度と高濃度の両方の蒸着速度と高解像度を提供することができます。スパッタリングシステムは、半導体、MEMS、および光学デバイス製造業界の製造プロセスに使用されます。SMD-450は、合計630mm x 725mm x 1035mmの高性能75mmスパッタリングチャンバーを提供します。最大450mmのウェーハに対応するように設計されており、350mm x 350mmの回転ターンテーブルを備えており、ウェーハ表面に薄膜を均一に蒸着させます。このシステムには、均一な厚さ制御のための3マグネトロン偏光スパッタ構成が装備されています。信頼できる操作を保障するためには、単位は13.56MHz RF電源および温度調節器が装備されています。さらに、ULVAC SMD-450には、ユニバーサル真空源が含まれており、非常に均一で効率的な動作を実現します。SMD-450を制御するために、機械はハイテクなタッチスクリーンインターフェイスが装備されています。ユーザーは、スパッタ電力、蒸着時間、およびその他のパラメータなどのツールパラメータを素早く簡単にプログラムでき、ニーズを満たすことができます。この資産には、操作手順を簡素化するための直感的でユーザーフレンドリーなソフトウェアもあります。全体的に、ULVAC SMD-450は、さまざまな用途に対応する高品質の薄膜の製造に最適なソリューションです。これは、効率的な操作のための汎用性、性能、および信頼性の完璧な組み合わせを提供します。直感的なソフトウェアとタッチスクリーンインターフェイスにより、ユーザーはアプリケーションのニーズを満たすモデルを素早く簡単にプログラムできます。これにより、幅広い用途で高品質の薄膜を製造するために必要な柔軟性と精度が得られます。