中古 ULVAC SMD-450 #9269729 を販売中

ULVAC SMD-450は、薄膜蒸着プロセスに使用するために設計された高度なスパッタリング装置です。これは、その多くの高度な機能とコンポーネントのおかげで、信じられないほど効率的な方法で薄膜の広い範囲を生成することができます。このシステムは、超高真空チャンバを使用しており、最大10-5 Paの圧力レベルを維持することができます。これにより、最大1。5 nm/sのスパッタリング速度を達成することができます。SMD-450はデュアルステージのモジュラーユニットで、ユーザーはさまざまなスパッタリングソース（DC、パルス、およびフィルタリングされた陰極アーク源を含む）を組み合わせて望ましい結果を得ることができます。この機械は、アモルファスおよび多結晶金属、セラミックス、複合材料、および誘電材料を含む低粘度材料から高粘度材料をスパッタリングすることができます。また、多くの薄膜太陽電池用途で特に重要なスパッタ化合物も可能です。このツールは、異なる化合物のスパッタリングが個々の実行で達成できるように設計されており、優れたプロセス効率を実現します。さらに、この資産には優れた基板バイアス、RF、およびプラズマ洗浄機能があります。これにより、ユーザーはよりタイトな表面形態、およびより高い密度でより良い品質の薄膜を得ることができます。また、ECR（誘導アーク放電）源技術によりフィルムの均一性を高め、スパッタリングが発生する基板面積を特定し、均質かつ均質な蒸着特性を確保します。最大8nm/minの高密度蒸着率と多種多様な材料を堆積させることで、アルバックSMD-450は薄膜製造にとって貴重なツールとなります。このモデルの柔軟性、品質、および全体的な効率により、ハードディスクやトンネリング磁気抵抗（TMR）ヘッド生産などの電子アプリケーションや、反射防止（ARD）や透明導電酸化物（TCO）生産などの光学アプリケーションでの使用に適しています。さらに、高いスループットと高粘度プロセスの互換性により、デジタルミラーデバイス（DMD）の製造に使用できます。