中古 ULVAC SMD-1800X #9313943 を販売中

アルバックSMD-1800Xは、高品質の薄膜成膜用に設計されたスパッタ装置です。このシステムは、高度なモーションコントロールモーションスパッタリングユニット、効率的なチャンバー避難のための超高真空チャンバー、およびインテリジェントなプロセス管理ツールを含むユニークで洗練されたプロセスマシンで構成されています。モーションコントロールスパッタリングアセットは、反応性と非反応性の両方の薄膜を生成することができます。4つのスパッタリング源で構成されており、3つの化合物を個別または同時にスパッタすることができます。また、安定したスパッタリング環境のためにターゲットチャンバーに取り付けられた8マグネットディスクも含まれています。マグネットディスクは、基板上の均一な成膜を保証し、成膜誤差を最小限に抑えます。高性能チャンバーは迅速に避難し、短時間で超高真空に到達します。それに開いた部屋の設計があり、沈殿プロセスを監視し、制御するための4つの光学窓が含まれています。さらに、基板抵抗用の効率的なマルチゾーン立面モデルを搭載しています。これにより、均一な基板高度が望ましいチャンバー温度を維持することができます。この多機能プロセス装置には、高度で高性能な基板位置決めシステムと最先端の基板温度コントローラが含まれています。また、インテリジェントプロセスマネジメントユニット（IPMS）も含まれています。これは、プロセスパラメータを簡単にセットアップするために設計されており、堆積膜の品質に関する迅速なフィードバックを提供します。「プロセスチェック」機能は、沈殿プロセス全体でさまざまなチェックを実行し、沈殿プロセスのパフォーマンスに関する情報を提供することができます。SMD-1800X機械の先進技術を活用することで、加工コストを低減しながら、精度とスピードを高めて薄膜成膜を実現します。精密かつ効率的な操作により、このツールは、高度な電子デバイスの製造と薄膜研究の両方に理想的な条件を提供します。