中古 ULVAC SMD-1800 #9384066 を販売中

ULVAC SMD-1800は薄膜装置の製造で頻繁に使用される高性能のスパッタリング装置です。それは優秀なスパッタのコーティングの質が重大である産業適用のために設計されています。SMD-1800は、ダイオード式のRFスパッタリングプロセスを利用して、5軸ロボットアームを内蔵したハイレートパターンスパッタ成膜を実現しています。スパッタリングユニットは、外部マグネトロン源と各ソースの個別のDCまたはRF電源を備えたデュアルヘッド構成です。このユニットは、アルミニウム、チタン、銅、合金などのコレクター材料の広い範囲を提供しています。このシステムはフレキシブルな内部構造を備えており、簡単なメンテナンスと保守性とソースの手動アライメント調整が容易です。調整可能なスパッタリング圧力チャンバーは、アルゴン環境を正確に制御することができ、平面基板上のパターン化された均一なスパッタリング堆積に最適です。RF周波数は、外部に適用された軸磁場と組み合わせて、フィルムの堆積に大きな柔軟性を可能にする調整可能です。このユニットには、堆積均一性を向上させるためのオプションの基板加熱プレートと、プロセス制御を向上させるための複数のin-situモニターツールがあります。ULVAC SMD-1800は、リアルタイムのジョブ制御とプロセス最適化GUIを備えた完全自動化されたマシンです。ロボットアームは最大6 「x6」の基板に対応でき、スパッタリング環境との間でパターン化された基板とパターニングされていない基板の両方を転送することができます。これにより、平面データストレージデバイスから薄膜トランジスタ、およびその他のスパッタ蒸着アプリケーションまでのアプリケーションに最適です。全体的なツールは非常に効率的な資産であり、優れたプロセス能力と品質を提供します。精度・精度の高い高速薄膜の成膜・コーティングに適しています。また、偶発的な危険から保護するためのいくつかの機能を備えた非常に安全です。優れたスパッタレート、厚さの均一性、およびプロセスの安定性により、SMD-1800はあなたが探している結果を確実に提供します。