中古 ULVAC SIV-850 #9050843 を販売中

ULVAC SIV-850は、産業用途向けに設計されたPVD（物理蒸着）スパッタリング装置です。このシステムは、ULVAC独自のマグネトロンスパッタリング技術に基づいており、幅広い基板上に金属、酸化物などの薄膜を生成することができます。ユニットの高度な設計は、コンパクトなフットプリントと低い所有コストでパフォーマンスとシンプルさのために最適化されています。SIV-850は、温度、圧力、RF電力、電力密度などのプロセスパラメータを自動制御します。このマシンは、DC、 パルスDC、またはRFモードで動作する複数のスパッタソースを使用しており、幅広い潜在的なアプリケーションを可能にします。このツールは、純金属や合金ターゲット、複雑な多層スタックなど、さまざまな材料タイプで使用できるように設計されており、さまざまな薄膜蒸着ニーズに柔軟に対応できます。この資産は、安全な操作パラメータを超えた場合の自動シャットダウンなど、さまざまな安全機能を備えたクリーンルーム操作の認定を受けています。また、蒸着チャンバー内の一定の温度を維持するように設計されており、均一で再現性のある結果を提供します。また、内蔵のユーザーインターフェイスを介してプロセスパラメータをリアルタイムで監視できるため、プロセスレシピを簡単に最適化できます。このモデルの先進的な設計により、成膜速度が非常に安定して再現性があり、粒子沈着も低減されます。これは、複雑な構造を高い蒸着速度で処理する場合でも、非常に薄い膜の信頼性の高い層を提供します。さらに、アルバックが特許を取得した「Direct Write」技術により、スポット成膜が可能となり、必要な場所にのみ材料を堆積することが可能になります。ULVAC SIV-850は、優れた性能、柔軟性、信頼性を提供する、産業用薄膜成膜アプリケーションに最適です。また、手頃な価格の機器であるため、小規模環境と大規模生産環境の両方にとって魅力的です。