中古 ULVAC SIV-500 #293608676 を販売中

ULVAC SIV-500は、薄膜材料の蒸着および表面コーティングの製造に使用される高性能スパッタ装置です。このシステムは半導体、化学および機械製造業のさまざまな適用で使用されます。SIV-500は、精密で反復可能なサンプルコーティングを提供するように設計された垂直直流（DC）マグネトロンスパッタリングユニットです。金属、酸化物、高性能化合物をスパッタすることができる5ターゲットソースを備えており、幅広い用途に適しています。また、ガラス、ポリスチレン、石英など多種多様な基材を使用した1基板から複数基板まで、幅広いサイズを取り揃えています。ULVAC SIV-500には、薄膜製造アプリケーションに最適なさまざまな機能が搭載されています。これは、蒸着プロセスのすべての側面を正確に制御する高度なクローズドループプロセスコントローラを備えています。このツールはまた、スパッタリングイオン化プロセスを正確に制御することを可能にする統合された電源を備えています。SIV-500には4段階の避難資産があり、所望の作業圧力を維持しながら迅速かつ一貫した基地圧力を提供します。また、圧力やプラズマ状態を正確に検出できる高度なプラズマセンサーを搭載しています。このセンサは、最適なスパッタリング性能のために一貫したガス環境を維持するのに役立ちます。ULVAC SIV-500は、プログラム可能なサンプル交換メカニズムや自動サンプル読み込みモデルなど、さまざまなサンプル交換機能を提供しています。また、自動スパッタリング深度制御によるバッチ処理も可能です。また、SIV-500のイオン監視システムにより、膜層の厚さを正確に制御することができます。全体的に、ULVAC SIV-500は高性能スパッタリングユニットであり、幅広い用途に適しており、正確な制御と信頼性の高い膜層成膜を提供します。これは、薄膜の効率的な生産を可能にするさまざまな機能と機能を提供しています。