中古 ULVAC SIV-200S #293637678 を販売中

アルバックSIV-200Sスパッタリング装置は、さまざまな生産および研究ニーズに対応するために設計された高精度の物理蒸着（PVD）システムです。このユニットは、ULVAC独自の高温マグネトロンスパッタリング源であるMVPS （Magnetron Variable Pressure Series）に接続された真空チャンバで構成されており、精密かつ均一なコーティング成膜が可能です。300×300×200mmの真空チャンバの独自設計と複雑な構造により、様々な材料の成膜においても正確な均一性と均一な厚さを実現します。SIV-200Sは、平坦度調整用のULVACオリジナルRF装着基板チャックを改良しました。この調整ツールは、ULVACの新しい高温バイポーラスロート（HTBT）プロセスを使用して、基板の正確な均一性を可能にします。このアセットには、PVDプロセス中の欠陥発生の可能性を最小限に抑え、蒸着の均一性を向上させるためのオルタネータ駆動機構も備えています。さらに、ULVACは、ターゲット源とスパッタリング成分を正確に分析するための超高速、低飛行時間質量分析計を設計しました。質量分析計は、コーティングの色と特性に貢献したすべての部品の割合を高精度で測定することができます。アルバックSIV-200Sは、洗練された安全性と連動モデルを備えています。すべての安全および連結機能は絶えず監視され、装置は途中で動く部屋か部屋の部品からすぐにそして容易に取除くことができます。これにより、システムの迅速かつ簡単なメンテナンスとクリーニングが可能になります。全体として、SIV-200Sスパッタリングユニットは、さまざまな材料の高精度スパッタリングに非常に適した強力で信頼性の高い機械です。その堅牢な設計と洗練された安全性とインターロックツールにより、コーティングの均一性と高速解析が保証され、汎用性がさらに高まります。この資産は、生産と研究の両方のニーズに最適であり、高い精度と信頼性を確保します。