中古 ULVAC SIH-4545 #9050844 を販売中

アルバックSIH-4545は、マイクロエレクトロニクス機器の製造に使用される高度なスパッタ装置です。薄膜を基板に均一かつ精密に堆積させ、高い精度と再現性を実現するよう設計されています。このシステムは、相互接続や金属酸化抵抗などの複雑な構造の薄膜蒸着にも使用できます。SIH-4545ユニットは、4つの独立したスパッタ源とロードロックチャンバーで構成されています。2800Wのマグネトロンによってそれぞれ動力を与えられる源は機械の前部側面に取付けられます。これにより、選択したターゲット材料の均一で均一なスパッタリングが可能になり、アルゴン、窒素、酸素などの幅広いプロセスガスが特徴です。プラズマスパッタリングプロセスを正確に制御するために、再現性のある高解像度シャッターツールが付属しています。ロードロックチャンバーは、迅速なサンプル積載のために設計されており、サンプル分析とサンプル表面前処理（プラズマ活性洗浄やプラズマ強化化学蒸着など）を自動化します。この機能により、資産の汎用性がさらに向上します。ULVAC SIH-4545には、生産性を向上させるために設計された他の多くの機能があります。例えば、最大2000nm/minの高い蒸着速度を実現できます。材料に応じて、90％以上の広範囲にわたって高い均一性を達成することもできます。その平均蒸着均一性は1〜2％以内であり、欠陥のない薄膜に対する最も要求の厳しい要件を満たすように設計されています。装置は安全基準を満たすように設計されており、30,000時間以上の寿命で頑丈で信頼性があります。また、統合冷凍システムと低メンテナンス水リサイクルユニットが付属しています。最後に、ULVACは測定ツール、プロセスオートメーションシステム、アップグレード可能なフィルムモニターモジュールなど、幅広いアクセサリを提供します。要するに、SIH-4545は汎用性が高く、信頼性が高く、強力なスパッタリングマシンです。幅広い機能により、大型基板上に高品質で正確な薄膜蒸着が可能です。ユーザーフレンドリーに設計されており、幅広いマイクロエレクトロニクスデバイス製造アプリケーションに高性能と信頼性を提供します。