中古 ULVAC SIH-350-T06/C08 #9107297 を販売中

ULVAC SIH-350-T06/C08は産業および研究の適用のための良質の金属の沈殿を達成するように設計されている最先端のスパッタ装置です。幅広いアプリケーションの要求に応えるために様々な構成が用意された高度にカスタマイズ可能なシステムです。6インチウエハーロードロックチャンバーを備えており、積載時間を最小限に抑えたサンプルの迅速な加工が可能です。また、超高速真空ポンプ速度を可能にする高効率のターボ分子ポンプ機を備えています。このツールには、さまざまな金属や複合材料を基板に適用できるユニークなスパッタ源が装備されています。このアセットには、堆積プロセスを監視するための高解像度デジタルイメージングモデルも搭載されています。ULVAC SIH-350-T06/C08は、最高レベルの性能を提供するために、交流（AC）スパッタリング、直流（DC）スパッタリング、ハイレートスパッタリング、ハイパワースパッタリングなど、幅広いスパッタリング技術をサポートしています。また、基板の高精度処理のためのイオンビームミリングやイオンビームエッチングなど、さまざまなイオンビーム源を備えています。このシステムには、スパッタリングプロセスのオンライン特性評価を可能にするin situ計測ユニットを装備することもできます。この機能は産業用アプリケーションに特に役立ち、堆積プロセスのリアルタイム監視とフィードバックを可能にします。このマシンは、さまざまなツール機能を制御し、他のシステムとの統合のための高度なソフトウェアオプションの範囲を提供しています。ULVAC SIH-350-T06/C08は、その卓越した技術に加えて、使いやすさのために設計されています。これには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれており、ユーザーはさまざまなスパッタリングパラメータを制御するためのレシピをすばやく作成できます。このアセットには、メンテナンスプロセスを簡素化する自己診断モデルも内蔵されています。さらに、サンプルの最高レベルの安定性を確保する自動セルフクリーニングシステムなどの機能を備え、最大の稼働時間を確保するように設計されています。全体として、ULVAC SIH-350-T06/C08は、幅広い産業および研究用途において、金属蒸着プロセスに最高レベルの性能と利便性を提供します。高効率でカスタマイズ可能なユニットで、生産性を最大化するための幅広い機能と構成オプションを提供します。