中古 ULVAC SIH-3030 #9078344 を販売中

ULVAC SIH-3030は、先進真空技術のリーダーであるULVACによって製造されたスパッタ装置です。このシステムは、研究開発と中小規模生産のために設計された汎用性と信頼性の高いスパッタリング装置です。強力なDCスパッタリング電源を備えており、500Vで最大5キロワットに達することができます。2〜4個のターゲットをサポートし、複数層の堆積またはデュアルターゲットラミネーションを可能にします。高精度のクローズドループ制御と組み合わせることで、最高レベルの均一性を維持しながら、スパッタ歩留まりを向上させることができます。4つの独立した傾斜した銃は、2つまたは3つのプロセスチャンバーを同時に監督し、プロセス時間を短縮してスループットを向上させることができます。そのモジュラー設計は顧客の必要性に従って構成のカスタマイズを、フィルム厚さのモニタリングを含む標準的な選択、リモート・コントロールおよび前もって設定された沈殿の調理法可能にします。さらに、高度なオートメーション機能により、最大200個のスパッタリングレシピと複数のガス制御機能を管理できます。SIH-3030はユーザーフレンドリーなGUIインターフェイスも備えており、オペレータは単一のコンソールからパラメータを素早く設定および制御できます。使いやすいメニューは圧力、位置、排出の開始およびガスの流れのような複数の変数の監視を可能にします。さらに、マシンは、プロセスの進捗状況を追跡し、生産効率を確保するために、複数のカメラに接続することができる高度な監視モジュールを持っています。ULVAC SIH-3030スパッタリングツールは、材料を基板にスパッタするための強力で効率的なツールです。モジュラー設計、高精度制御、高度なオートメーション機能により、優れた結果が得られ、プロセス時間が大幅に短縮されます。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと高度な監視資産を備えたSIH-3030は、スパッタリングのニーズに合わせて信頼性が高く費用対効果の高いソリューションです。