中古 ULVAC SIH-3030 #9067203 を販売中

ULVAC SIH-3030は、様々な物理蒸着（PVD）技術に使用されるマグネトロンスパッタリング装置です。これは、優れた位置精度、優れた均一性と単一および複数のターゲットプロセスの両方で強化された安定性のために設計されています。スパッタリングシステムのオールインワン設計SIH-3030は、標準のロードロックとチャンバーに完全に統合された隣接するサンプルボートが含まれています。大きい部屋は349のmmおよび容易なアクセスのための2つの任意蝶番のドアの寛大な軸長さを提供します。調節可能なクローズドサイクルの可変周波数ターボ分子ポンピングユニットは、スパッタリングチャンバーの1。6x10-4 Paの最小塩基圧力を保証します。ULVAC SIH-3030は、最大3つのスパッタリング源を同時に使用することができ、長期適用のための連続的な陰極負荷動作を維持することができます。SIH-3030スパッタリングマシンは、成膜速度と均一性を最大化するために調整可能な動作パラメータの広い範囲を持っています。これらのパラメータには、0-400 Cからの温度制御、調節可能な基板間距離、固定DC電源またはオプションのAC基板バイアスを選択して接着性と表面テクスチャを改善する機能が含まれます。このツールには、イオン爆撃レベルを最適化してフィルムの均一性を向上させるためのプログラム可能な静電シールドも含まれています。基板の取り扱いを強化するために、基板冷却ラインと材料の脱着を改善するためのオプションの調整可能な基板加熱ラインが標準装備されています。ULVAC SIH-3030の先進安全モデルは、チャンバーの状態を監視し、潜在的な電力サージから部品を保護するために使用できます。さらに、装置のタッチスクリーンコントローラは、生産までの簡単な操作と迅速な時間を保証します。SIH-3030スパッタリングシステムは、半導体、航空宇宙、自動車、フラットパネルディスプレイ産業向けのフィルムの研究および製造に最適です。その高度な機能と信頼性の高いパフォーマンスは、さまざまなPVDアプリケーションに最適です。