中古 ULVAC SH-550 #9078338 を販売中

ULVAC SH-550は、さまざまなターゲット材料、基板、最終製品で優れたコーティング性能を実現するために設計された最先端のスパッタ装置です。13.56MHz-RFで低周波のDCスパッタ源を搭載し、様々な金属の薄膜を幅広い基板に堆積させることができます。独自のAdvanced Electrode Balance Unit （AEBS）は、大面積の基板に対して均一な厚さを維持し、より小さな基板に薄膜を正確かつ再現可能にします。SH-550は、ガラスイメージング、シーリング、パッシベーション、装飾フィルムなどのさまざまな用途に適しています。また、最適なプラズマ密度レベルのための統合チャンバーガスコントロールとスパッタリングパラメータを正確に制御するためのWINDEX-V1コントローラを備えています。複数のターゲットを持つRFソースには、クイックチェンジソース（QCS）が装備されており、素早く簡単にターゲットを変更することができます。マシンには、チャンバーとターゲット基板インタフェースのシーリングを可能にするオートシール機能が付属しています。AUTO-SEAL機能は、汚染を防ぎ、コーティング歩留まりを向上させます。このツールは、完全に自動化された真空アセットを使用して、スパッタプロセスの迅速な避難と正確な制御を行います。ULVAC SH-550は、低振動スパッタ蒸着プラットフォームを備えており、低接触抵抗とともに、均一で高精度な膜の蒸着を可能にします。このモデルは、プロセスを最適化し、温度ドリフトを低減するための調整可能な歩留まりおよび圧力プロファイル指標を提供します。また、最大スパッタリング歩留まりと高精度性能を確保する衝突保護機能を備えています。SH-550は400°Cまでの温度の信頼でき、有効な操作のために設計され、オペレータおよび環境を保護するさまざまな高度の安全機能が付属しています。真空レベルガードと圧力センサーWith Alertが含まれており、プロセス条件を監視し、安全でない動作条件をオペレータに通知します。さらに、静電気または損傷の可能性があるシステムを保護するために、統合されたESD保護装置が装備されています。全体的に、ULVAC SH-550は、幅広い用途で優れたコーティング性能を提供する高性能スパッタリングユニットです。機械は再現性のある結果と精密薄膜沈着を提供し、その統合された安全機能は信頼性と安全な動作を保証します。