中古 ULVAC SH-450H-C10 #9313937 を販売中

アルバックSH-450H-C10は、さまざまな材料の薄膜を作成するために使用できるDCマグネトロンスパッタリング装置です。これは、3つの銃、デュアルチャンバー装置であり、堅牢な電源システムを備えています。このユニットは高度に自動化されており、高度なユーザーインターフェイスにより、オペレータはスパッタリングパラメータを簡単に選択および変更できます。SH-450H-C10には、6x10̄³〜4x10̄⁸の動作圧力を維持できる高真空チャンバーがあります。2。5または4 kWの堅牢な電源で駆動され、6kWまで電力を拡張することができ、急速なスパッタ蒸着速度を可能にします。それに3つの6 "EUVターゲットが付いているいろいろターゲット材料のために適した大きいスパッタリングブラスト部屋があります。チャンバーには4インチウェーハ対応のベルジャーも装備しています。アルバックSH-450H-C10には、正方形の開口部を持つ2つの光学系があります。1つ目は、インナースリット付きの楕円形コレクター、もう1つはクォーツクリスタルモニターで、プロセスパラメータと品質保証をリアルタイムで監視できます。機械にまた安定したプロセスを保障する統合された低温冷却用具があります。さらに、SH-450H-C10は3つの銃のメカニズムを備えています。3つの銃のうち、中央アペックスガンアセットにはスロットリング式のマグネトロンがあり、他の2つの銃にはダイアフラム式のフラットマグネトロンがあります。このモデルはまた、高真空の腸管ガス注入または低圧ガス・シュラウドを使用した幅広い反応性ガス・スパッタリングを提供します。全体的に、ULVAC SH-450H-C10は、導電性、半導体性、誘電性材料の薄膜の堆積など、DC磁気スパッタリング用途のための強力で汎用性の高い機器です。高い沈着率、低い汚染、優れたスループット、小さな粒子生成を組み合わせており、エレクトロニクス、光学、ナノサイエンス、エンジニアリングなど、さまざまな分野の材料の沈着に最適です。