中古 ULVAC SH 450 #9132015 を販売中

アルバックSH 450スパッタリング装置は、今日の半導体、フラットパネルディスプレイ、データストレージ市場で使用される高性能スパッタリング技術です。スループットと歩留まりを最大化するように設計されており、研究と量産の両方に最適です。その大容量（450mm）は、より高い収率を可能にし、一度に処理できる部品の総面積を決定します。また、SH 450システムは幅広いプロセス操作を誇り、様々な生産において非常に効率的です。強力で精密なULVAC SH 450には、4列オートローダーなどの堅牢な機能が搭載されており、大容量のマテリアルローディングが可能です。また、大容量の低振動スパッタリングチャンバーと、作業圧力を正確に制御するための調整可能な真空圧力制御ユニットを備えています。ULVACの最高品質基準に沿って、振動のない、汚染のない環境も備えています。操作が容易なため、SH 450は使いやすいタッチパネルインターフェイスを備えています。また、波長選択ランプを使用してスパッタリングプロセスをリアルタイムで監視するリアルタイムモノクロメーターベースのアークライトモニタリングツールも提供しています。この特徴は、揮発性物質や酸化物層を基板から除去するために不可欠です。ULVAC SH 450は、スパッタリング、蒸着、ボンディング、エッチング、研磨研磨など、幅広いプロセスを実行できます。それはケイ素、ガリウムヒ素、ガラス、金属、石英および他の材料のような基質のフルレンジと互換性があります。その汎用性の高いアーキテクチャは、圧力、温度、ガス濃度、流量など、さまざまなプロセスパラメータをカスタマイズすることもできます。追加のボーナスとして、アセットはまた、プロセスの最適化と自動化を可能にする統合されたプロセス管理モデルを備えています。全体的に、SH 450スパッタリング装置は、スループットと歩留まりを最大化するために設計された印象的なツールです。その堅牢な機能、大容量、およびプロセス操作の範囲は、研究と生産の両方に最適です。さらに、使いやすいタッチパネルインターフェイスと直感的なガス流量制御システムにより、スパッタリングアプリケーションに最適です。