中古 ULVAC SH-350EL-C06 #9078346 を販売中

アルバックSH-350EL-C06は、株式会社アルバックが設計・製造したスパッタ装置です。シングルステップで基板上に薄膜を堆積させるマルチチャンバー方式です。産業用スケールバッチ処理に適しており、反応スパッタリング、DC反応マグネトロンスパッタリング、反応イオンエッチング、イオンビーム蒸着などの幅広いプロセスをサポートしています。SH-350EL-C06は、手動転送ユニット、プロセスチャンバー、基板ホルダー/クーラー、およびロードロッカーを備えた避難メインチャンバーで構成されています。メインチャンバーには、チャンバー圧力計、水冷パネル、負荷ロックポート、スロットルバルブなどのさまざまなポートがあり、さまざまな接続されたプロセスチャンバーを可能にします。プロセスチャンバーは、堆積される材料、チャンバーの底に接続された真空ポンプ、および均一な堆積を確保するためにチャンバーの屋根を裏打ちする石英シャワーヘッドに応じて最大4つのターゲットが装備されています。チャンバーは、DCまたはRF電源のいずれかで動作できます。基板ホルダー/クーラーは、最大2つの基板を収容するように設計されており、その仕様は調整可能です。ホルダーは、700 x 700mmまでの基板に対応でき、10〜40°Cの基板温度を監視および維持するための温度センサーが装備されています。さらに、基板ホルダーには回転ディスク基盤があり、蒸着中に傾斜角度または回転角度が必要な場合には非接触サセプターと平面内の傾斜回転機構を備えています。最終的に、負荷ロッカーは前部開放可能なゲートと設計されています、プロセスを中断しないで基質を荷を積み、取除くことを可能にします。それは基質の滑らかさが変わらないことを保障するために水晶かアルミナはさみ金が装備されています。さらに、ロックチャンバーは、酸化や残留大気ガスとの反応を防ぐために、無酸素環境を提供する石英シールを介して最大4つの負荷を同時に収容することができます。要約すると、ULVAC SH-350EL-C06マルチチャンバースパッタリングユニットは、産業用スケールバッチ処理に最適で、さまざまな蒸着プロセスを可能にするさまざまなオプションを提供します。直感的なデザインと機能、そしてクローズドマシンによる効率的なため、使いやすいです。これは、信頼性と堅牢なスパッタリングツールを必要とする人のための薄膜成膜のための優れた選択肢です。