中古 ULVAC SH-350 #9145272 を販売中

ULVAC SH-350は、産業用に設計された堅牢で高品質のスパッタリング装置です。このスパッタリングシステムはコンパクトな設計で、様々な工業生産ラインに簡単に組み込むことができます。それは350Wまで動力を与えることができる堅牢なrf源を利用し、市場の他のスパッタリングシステムの中で最も高い電力レベルの1つを与えます。SH-350は、ソース、チャンバー、真空ポンプの3つの主要コンポーネントで設計されています。ソースは高速で強力で信頼性の高いモジュールで、高レートスパッタリングを生成できます。ユニットのチャンバーは簡単にアクセスできるように設計されており、迅速かつ簡単なメンテナンスとカラーコーティングを可能にします。また、高いビーム角で設計されており、均一で効率的なスパッタリングプロセスを保証します。ULVAC SH-350には、ターボ分子ポンプとクライオポンプの組み合わせを含む高度な真空機械もあります。この組み合わせにより、5 x 10^-7 Paの低真空と高い蒸着速度が保証されます。さらに、このツールは最大100˚Cの温度制御を提供し、高度な温度制御資産を使用して特定の温度に到達するようにプログラムすることができます。さらに、SH-350は高度なフィルタリング、および漏れや汚染を排除するクローズドポンピングモデルを備えているため、高真空環境での使用に適しています。また、自動圧力制御装置を搭載し、精密な圧力制御を可能にし、スパッタリング動作時の連続調整も可能です。全体として、ULVAC SH-350は、工業生産プロセスに非常に適した強力で信頼性の高いスパッタリングシステムです。その高度な設計と組み込み機能により、このユニットは高いスパッタリング率と均一なコーティングを提供することができます。