中古 ULVAC SDP-651 #9379485 を販売中
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ID: 9379485
Sputtering system
(3) MITSUBISHI RH-L4B Robots
RF Generator
(12) SHIMADZU TMP1500 Turbo pumps
(11) ULVAC VS 2401 Dry pumps.
アルバックSDP-651 （ULVAC-PHI、 Inc。）は、薄膜を大量に成膜するために設計された高精度で費用対効果の高いスパッタリング装置です。最大幅808mm、高さ875mm、奥行き1150mmの小型フットプリントです。9インチのスパッタリングターゲットを備えており、最大24のターゲットを堆積することができます。このユニットは強力な直流（DC）電源で駆動され、薄膜の堆積に最大350Wの電力を供給することができます。シングルフレーム、オープンタイプの豪華スパッタリングガンを使用し、片面または両面ターゲットを搭載しています。シングルサイドまたはダブルサイドのターゲットは、機械式、電気昇降機、または手動ローディングによってロードすることができます。このツールは、最大75mA/in2と20mTorrの出力を提供することができます。SDP-651には、温度、スパッタ圧力、電圧などのプロセス条件を監視するプロセスコントローラが装備されています。監視は、赤外線温度センサ、残留ガスアナライザ、圧力計、ターゲット電流モニタ、および電圧パワーモニタを介して行われます。これは、手動または自動操作のために構成することができ、18の異なる言語オプションを可能にします。アセットは、高度で拡張された作動距離の感受性を使用して、高い均一性と均一な蒸着を提供します。また、新しいターゲット設定を必要とせずに変更することができます基材やサイズの広い範囲を提供しています。伸びた作業距離は、沈着結果に対する基板の影響を最小限に抑えるように設計されています。ULVAC SDP-651は、最高品質の薄膜成膜結果を得るために特別に設計されています。高効率、均一な成膜、均一な厚さ、高純度、低熱変動特性を備えており、有機材料および無機材料の両方の用途に薄膜を堆積させるのに最適です。
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