中古 ULVAC SDP-570 #9411766 を販売中

ULVAC SDP-570は、薄膜成膜アプリケーションで使用される最先端の汎用スパッタ装置です。省スペース設計の直流（直流）スパッタリングシステムで、小型用途に最適です。マグネトロンスパッタリングユニットとして、印象的なパワーと高い沈着率を提供し、最終的には高品質で均一な薄膜をもたらします。マシンは完全に囲まれたチャンバーで設計されており、スパッタリングが発生する環境を改善することができます。それは大きく、容易に調節可能なプロセス区域があり、いろいろな材料を扱うことができます。真空ポンプを内蔵し、安定性と再現性を向上させます。このスパッタリング機械は沈殿物の気性の蒸発（DTE）および物理的な蒸着（PVD）プロセスにとって理想的です。スパッタリングツールSDP-570また、高精度の機械設計要素を備えています。7軸ゴニオメーターにより、基板の角度、傾き、スピンを正確に制御および調整し、一貫した膜形成を実現します。その高精度な惑星運動システムは、プロセス中に滑らかで正確な基板の動きを保証します。さらに、ULVAC SDP-570は、幅広いプロセスパラメータをユーザーに提供します。デュアル周波数DC電源を搭載しており、100〜10,000ワットの電力調整が可能です。そのコントローラは、RF（無線周波数）とDCスパッタリングの両方を備えており、堆積パラメータをより良く制御します。3ゾーンの温度制御により、ユーザーは厳密なプロセス温度を維持することができます。SDP-570スパッタリングアセットには、高度な安全機能も含まれています。このマシンには、プロセスの変化を検出し、ユーザーに即座にアラートを提供するためのさまざまなセンサーが装備されています。さらに、緊急停止ボタンを備えているため、オペレータは必要に応じて迅速かつ安全にプロセスを終了することができます。全体的に、ULVAC SDP-570は優れた性能、均一性、精度を提供します。そのプロセスパラメータの範囲、高度な安全機能とDC/RFスパッタ機能は、薄膜蒸着アプリケーションに最適です。