中古 ULVAC SCH-135 #293623029 を販売中

アルバックSCH-135は、スパッタ成膜技術を専門とする株式会社アルバックが製造するスパッタ装置です。SCH-135は、真空アーク技術を活用したDC/RF強化PVDスパッタコート蒸着システムです。このユニットは、独立したDCおよびRFバイアス電源、可変出力、および3電極アーク制御を備えています。8インチと4インチの2つのスパッタ源を備えており、より高速で効率的なコーティングが可能です。機械にまた沈殿のために個別にまたは同時に使用することができる2つのターゲットがあります。アルバックSCH-135は、磁性材料、透明導電膜など様々な材料のスパッタリングに優れた性能を提供します。SCH-135は最大8インチのスパッタ幅を持ち、1パスでより大きな表面積をスパッタすることができ、スパッタ面積速度は最大30cm2/minで、コーティングの均一性を向上させます。このツールは、10-5Paの高真空環境の下で動作することができ、より高い堆積率と改善された性能を実現します。チャンバー圧力は、統合されたVETM （Vacuum Enhanced Technology Module）機能によって制御することができ、蒸着材料、プロセス温度、および所望のコーティング均一性に従って動作中に調整することができます。h ULVAC SCH-135には、光学ウィンドウ、ターゲット洗浄および冷却メカニズム、RFシールド電源、統合リモート監視資産など、さまざまな機能があります。このモデルは、研究開発用途や、高品質のスパッタコーティングを必要とするさまざまな産業用途に最適です。SCH-135は、信頼性の高い高レベルのパフォーマンスを提供し、反復可能な結果を提供します。幅広い材料やフィルムに対応しており、少量塗布でもコストパフォーマンスに優れています。