中古 ULVAC SCH-1000 #9314701 を販売中

ULVAC SCH-1000は、さまざまな研究および生産アプリケーション向けに設計されたコンパクトで高度なスパッタリング装置です。このシステムは、ガラス、アルミニウム、シリコン、その他の材料の薄膜成膜など、幅広いスパッタリング用途に使用できます。このユニットには、薄膜層のより高い均一性と高速蒸着のための2段RF電源が装備されています。また、3D基板ホルダーを備えており、基板のすべてのセクションでの均一性を向上させ、超高真空環境用の真空チャンバー、および成膜プロセスを高度に制御するための完全自動化されたプロセスガス制御機を備えています。このツールは、光学ビームリソグラフィと電子ビームリソグラフィの両方を1台のマシンで組み合わせた高度なリソグラフィ資産で構築されています。これにより、最大数百ナノメートルのサイズのナノ構造を高精度に製造することができます。また、最大6つのターゲットを搭載した高速マルチターゲットスパッタリングヘッドを搭載し、生産アプリケーションの高い生産性と拡張性を実現しています。この装置は、材料と基板タイプの幅広い選択肢で、単層または複数層の薄膜堆積を行うことができます。SCH-1000は、リアルタイム非接触光学厚さモニターによって容易に最大5アングストロームの精度で、精密な厚さ測定システムを備えています。また、ガス圧力モニターを内蔵しており、クリーンなプロセス条件を維持して一貫した結果を得ることができます。3D基板ホルダーにより、基板全体にわたって複数の層の均一性を実現します。ULVAC SCH-1000は、迅速なアライメント、短いサイクルタイム、迅速な基板交換により、スループットを向上させるように設計されています。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスにより、操作も簡単です。この信頼性と効率的なスパッタリングツールは、フレキシブルプラスチックを含むさまざまな基板基板に酸化物から金属まで、さまざまな薄膜を堆積するために使用できます。幅広いアプリケーションと信頼性の高い性能を備えたSCH-1000は、ほとんどの研究および産業ニーズに最適なスパッタリングソリューションです。