中古 ULVAC SBH-2306 #9156856 を販売中

ULVAC SBH-2306は、薄膜を基板に成膜するために設計されたスパッタ装置です。優れた均一性を持つ微細構造の作成に最適です。このシステムは、回転式スパッタリングガン、真空チャンバー、および回転式リフトテーブルで構成されています。スパッタガンは、反応性スパッタリングと非反応性スパッタリングの両方のために設計されています。それはさまざまなスパッタリングの必要性を収容するために3つの銃モードを利用します。これらには、変調された電力、変調された無線周波数（RF）、およびDCマグネトロンスパッタリングが含まれます。銃はスパッタされるべき材料の広い範囲をカバーするためにターゲットの範囲が装備されています。真空チャンバーは機械的にポンプで送られ、ロータリーベーン粗いポンプで補充されます。また、高真空操作のための独立したターボポンプを備えています。ガス排気システムと排気システムは、プロセス関連の操作を容易にするために組み込まれています。回転リフトテーブルは、スパッタパス内および外側の基板の回転が可能であり、基板スペースを節約するためにも使用されます。SBH-2306は、基板温度制御、デジタル真空ゲージ、クローズドループプロセス監視、自動グロー放電クリーニングおよびコンディショニングユニットなど、多くの追加機能を提供しています。機械の全面的なサイズは幅89「の長さおよび30」のフットプリントと小さいです。このツールは、再現性のある結果で優れた性能を提供します。ITOコーティング、SiO/SiNコーティング、OLED用PECVD成膜、金属/絶縁体多層システムなどの薄膜アプリケーションに最適です。ULVAC SBH-2306は、優れた均一性を維持しながら、優れた機能を作成する優れた機能を提供します。