中古 ULVAC SBH-2306 #9107295 を販売中

ULVAC SBH-2306は、材料の薄膜を基板に堆積させるなど、さまざまな用途に使用されるスパッタ装置です。密閉された環境を提供するドーム状の真空チャンバーを備え、最適な温度制御のためにガス注入システムを使用しています。チャンバー内には、異なるコーティング構成のための4つのRFスパッタリングカソードを備えたマルチターゲットスパッタリングガンがあります。スパッタリング時間を制御するプログラム可能なパルス/タイマーと、プラズマ密度を制御するバイアス電圧源を備えています。薄膜コーティングSBH-2306 0。1〜10nm/minの成膜速度が可能です。また、コンパクトで使いやすいコントローラを備えており、ターゲット角度、チャンバー圧力、ガス流量、スパッタ電圧など、最大10個のスパッタパラメータをサポートできます。このスパッタリングユニットは、反応性イオンスパッタリング、酸化および酸化なしのコーティングプロセスを容易にすることができます。その場で圧力監視されたチャンバーと高圧ガス噴射機を備えており、プロセス制御と再現性の向上を実現しています。アルバックSBH-2306には、低応力スパッタコーティングに必要な高真空運転のターボ分子ポンプも搭載しています。さらに、ポンプダウンタイムを加速する窒素パージポートを備えています。また、アルミターゲット用とリアクティブガス用の2つの材料導入ポートと、スパッタリングプロセス全体をリアルタイムで制御するビューポートを備えています。最もよい性能を保障するためには、ULVACのスパッタリングシステムに多数および精密なスパッタパラメータが付いている上限のマイクロプロセッサのコントローラーが、最もよいプロセス制御を提供するあります。安全なプロセス条件が検出された場合、オペレータに警告するための可聴および視覚アラームなどの安全機能があります。このツールにはメンテナンスメニューも含まれているため、オペレーターは簡単に是正措置を講じることができます。全体として、SBH-2306は信頼性が高く、再現性が高く、精密な薄膜コーティング結果をさまざまな用途に提供する高度なスパッタリングアセットです。安全な操作を確保するために多くの機能を備えており、投資を最小限に抑えて高品質な結果を提供することができます。