中古 ULVAC SBH-2306-DE #9055122 を販売中

アルバックSBH-2306-DEスパッタリング装置は、多種多様な用途において、高精度の薄膜材料の層を作成するために設計された高性能ツールです。この最先端のシステムは、物理蒸着（PVD）技術を利用しています。これは、スパッタリング源を使用してターゲット表面を爆撃し、ターゲット材料の原子または分子を基板に転送する真空レベルの蒸着技術です。SBH-2306-DEは独立したロータリースパッタリングチャンバーを備えており、異なる組成の同時スパッタリングターゲット用のデュアルマグネトロン源だけでなく、高い均一性と精度のフィルムを生成します。基板圧力が1e-5Paまでの大型真空チャンバーで最大2つの基板またはターゲット、および軟金属、合金、ケイ化物、酸化物からの多層薄膜を処理できます。基板サイズは4インチから8インチまで対応可能で、最大基板サイズは300 mmです。このユニットには、加工前後の測定に役立つ多目的光学モニタリングマシンと、欠陥解析のための遠隔診断ツールが装備されています。その直感的なソフトウェアは、簡単なデータ入力を可能にし、ユーザーに良い結果をもたらすために必要なすべての情報を提供します。さらに、ULVAC SBH-2306-DEは優れた再現性を備えた高度なプロセスを実行することができ、最も要求の厳しいアプリケーションに最高の効率と生産性を提供します。アセットの設計には、水冷と空冷の両方が組み込まれており、大型基板を加工する際の熱制御が向上します。SBH-2306-DEは、自動蒸着厚さ制御、ガス漏れの回避、必要なアプリケーションの最適化された操作設定などの機能を備え、安全性とユーザーの利便性を考慮して設計されています。このパワフルなスパッタリングモデルは、自動車、メディカルエレクトロニクス、太陽電池、マイクロエレクトロニクスなどの業界の研究および生産プロセスにとって、比類のない汎用性と性能を備えた貴重な資産です。