中古 ULVAC PME-200 #9070529 を販売中

ULVAC PME-200スパッタリング装置は、さまざまな薄膜用途向けに設計された非常に汎用性の高い高度なスパッタリングシステムです。このユニットはモジュール式のマルチコンフィギュレーションフレームで設計されており、熱および反応スパッタリングを含む複数のPVDプロセスに対応できます。マシンには2つのスパッタチャンバーが付属しており、それぞれに最大2つのマグネトロンスパッタカソードが装備されています。各スパッタチャンバーは、独立して駆動された基板ホルダー上の各基板で、最大4つの基板を収容することができます。このツールの柔軟な設計により、アプリケーションの要求に最も適した基板タイプ、ターゲット構成、スパッタパラメータを迅速かつ簡単に変更できます。PME-200は、3kHzまでの繰り返しレートで高周波パルスを生成できる高周波パルス変調電源によって駆動されます。PACMANオートメーションコントローラは、スパッタパラメータと基板温度に最適な値を自動的に設定することで、オペレータの介入を最小限に抑えるように設計されています。これにより、各基板に均一で反復可能な堆積が可能になります。スプリング式シャワーシールドデザインは、スパッタリングによって生成された荷電粒子から基板面積全体を遮蔽することにより、優れた成膜均一性を提供します。サセプター設計によりターゲット材料の高密度成膜が可能となり、最大5本の希ガスラインをアセットに接続して反応スパッタリングを行うことができます。アルバックPME-200はまた、チャンバの温度制御と粒子抽出の両方を提供する堅牢な冷却ループを備えており、クリーンな処理環境を維持するのに役立ちます。最後に、PME-200には直感的なヒューマンマシンインターフェイスが付属しており、ユーザーはスパッタリングプロセスを簡単に設定し、セットアップ構成を保存し、完全なモデル制御と監視を提供します。また、異常が発生した場合には、インターロック起動機能付きドアロックアウトシステム、温度監視機能、自動シャットオフ機能など、さまざまな安全機能も備えています。これらの機能はすべて、ULVAC PME-200を幅広い薄膜アプリケーション向けの強力で柔軟かつ信頼性の高いツールにするために集約されています。