中古 ULVAC MPS-5000-HC6 #9156847 を販売中

ULVAC MPS-5000-HC6は、高品質の薄膜蒸着アプリケーション用に設計された最先端のスパッタ装置です。このシステムは、8インチ単細胞の磁気増強平面スパッタ源、8インチ基板ホルダー、高真空室、光放射分光計（OES）モジュール、および専用ソフトウェアで構成されています。スパッタ源は、超低電圧、低EMI電子銃、ならびにスパッタの均一性と安定性を向上させるための複数のマグネトロン、大容量ターゲット設計を備えています。基板ホルダーは、静電気を中和する特許取得済みの方法でマイクロポジショナーによって制御され、正確な基板位置決めとコーティングの均一性を保証します。MPS-5000-HC6のチャンバーには、反応ガスを導入するためのガス噴射ユニットと、2つの可動ブレードと2つの固定シールドを備えた排気ユニットが装備されており、チャンバー内部を汚染から保護します。OESモジュールはチャンバーに内蔵されており、スパッタ蒸着中のリアルタイム監視および自動制御パラメータを可能にします。専用ソフトウェアは、様々なレシピやパラメータ調整でスパッタリング操作を簡素化および自動化し、完全に自動化されたサンプルローディング/アンローディングマシンを備えています。さらに、スパッタリングレシピの保存とチャンバーの状態の確認を可能にします。ULVAC MPS-5000-HC6は、高品質のフィルムを成膜するための信頼性の高い効率的なスパッタリングツールを求める人にとって魅力的なオプションです。