中古 ULVAC MPS-2000 #9156854 を販売中

アルバックMPS-2000スパッタリング装置は、アルバック・ジャパンが製造し、薄膜の製造に使用される汎用性の高いツールです。MPS-2000は3つの独立したスパッタリング源を備えており、正確な厚さ制御による多層蒸着が可能です。真空ポンプは5 x 10-6 Paの安定した基盤の真空および3 x 10-3 Paの最高圧力を提供し、速いポンプ時間の一貫したフィルム塗布を可能にします。ULVAC MPS-2000は50 x 50 cm陰極チャンバーを備え、300 x 150 x 200 cm、すべてのステンレス鋼構造を測定します。その温度範囲は100˚Cから325 ˚Cであり、システムはあらゆる方向に向けることができます。標準スパッタリングとリアクティブスパッタリングの両方に対応しており、内蔵のコントロールユニットを使用して自動化することができます。また、MPS-2000は、温度と圧力のためのタッチスクリーンコントローラだけでなく、監視と診断機能を備えています。アルバックMPS-2000は、高品質の薄膜をスパッタ成膜するための信頼できる選択肢です。その独立したソースと多層蒸着機能により、多くのアプリケーションで非常に有用です。MPS-2000によって堆積されたフィルムは、均質性と優れた接着性、および沈着率を高め、フィルムの均一性を低下させる能力で知られています。自動化された制御機能により、オペレータからの入力を最小限に抑え、全体的な生産時間を短縮できます。ULVAC MPS-2000にはガス投与能力も備えており、堆積している組成物の適切な反応速度を確保するために使用することができます。全体として、MPS-2000は薄膜用途向けの強力で汎用性の高いスパッタリングマシンです。その堅牢な設計と高度な機能により、多くの生産プロセスで信頼性の高い選択肢となります。制御ツールを内蔵し、オペレータ入力を低減し、迅速かつ簡単な操作を可能にします。そして、その多層機能と優れた均一性は、一貫した結果を保証します。