中古 ULVAC MLX-3000N #9279394 を販売中

ULVAC MLX-3000Nは、さまざまな用途向けに設計された高性能スパッタリング装置です。ターゲット駆動のインラインスパッタリングプロセスを使用して、基板上に精密で均一な膜を堆積させます。MLX-3000Nはフィルムの厚さおよびstoichiometryを制御するための精密なイオン投薬機能、および高いフィルムの均一性および再現性を提供します。このシステムは4つの電源を使用しており、0.01Vインクリメント、調整可能なパルス周波数、および100nAから1mAまでの調整可能なイオン電流範囲で調整可能です。また、操作が簡単なソフトウェアプラットフォームを備えているため、特定の堆積ニーズに合わせてパラメータをカスタマイズできます。スパッタリング機械は100°Cまで0。004-2。8 Pa （30 mTorr-400 mTorr）の標準的な圧力範囲の360°デュアルターゲット、4列の部屋を含んでいます。高精細なデジタルイメージングメカニズムと高度な映像処理技術を搭載し、基板表面の視認性を向上させています。ULVAC MLX-3000Nは、DCスパッタリングとパルスDCスパッタリング、および反応性/ハイイオンスパッタリングの両方をサポートします。また、反応性の高いスパッタプロセス用のアークスパッタリングも可能です。このツールは、自動ターゲット制御、動的チャンバークリーニング、基板加熱制御、ターゲット保護、ソフトウェア制御タイミング、自動基板ホルダー張力調整、および自動チャンバメンテナンスなどの多くの機能を提供します。これらの特徴MLX-3000N、フラットパネルディスプレイ、薄膜電池、センサー、光学コーティング、その他様々な電子コーティングのニーズに応える窒化物、酸化物、金属、オキシニトリドの成膜など、多くの用途に最適です。この資産はまた、多くの安全機能を提供しています。ULVAC MLX-3000Nのプロセスチャンバーとバッキングマグネットは、EM干渉から保護するために磁気シールドされており、安全動作を確保するために様々な安全センサーが搭載されています。さらに、MLX-3000Nには、真空システムの状態をリアルタイムで監視および表示する高度な真空監視装置が装備されています。このユニットはまた、処理中に問題や潜在的な危険を検出したときにオペレータに警告するように設計された一連の自己診断を実装しています。全体的に、ULVAC MLX-3000Nは、さまざまな用途に精密で再現性のある均一な結果を提供する優れたスパッタリングマシンです。使いやすいインターフェイス、高品質の機能、安全機能を備え、多くの堆積ニーズに最適です。