中古 ULVAC MLX-3000N #9236593 を販売中

ULVAC MLX-3000Nは、真空技術の世界的リーダーであるULVACが製造したスパッタ装置です。MLX-3000Nは、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、半導体など、さまざまな基板に薄膜やコーティングを堆積させるように設計されています。高純度ガスによる高出力スパッタリングを利用し、電気的・光学的特性に優れた薄く均一な膜を形成します。ULVAC MLX-3000Nは、最大2500Wまでのパワフルなスパッタリング電源と、高密度Ar/O2およびAr/N2スパッタリング用に設計された高圧EC電源を備えています。このユニットは、ハイブリッド構成で最大3つのCVD/スパッタリング源と4つのイオン源を使用し、競合システムよりも膜厚精度の高いマルチコンポーネントフィルムの蒸着を可能にします。マルチソース設計により、プロセス時間が短縮され、プロセスの柔軟性が向上します。機械の自動化された温度制御、基板のステージング、および現場でのプロセス監視により、大規模な生産における繰り返し可能な結果が保証されます。MLX-3000Nはまた基質の汚染を減らし、スループットを高める負荷ロックの技術を特色にします。インテリジェントで適応性の高いソフトウェアを使用することで、このツールはさまざまな材料やプロセスパラメータに対して自己最適化することができます。ULVAC MLX-3000Nは、電子ビーム蒸発器やプラズマイオン支援蒸着システムなどの他のULVAC技術と簡単に組み合わせることができ、お客様の正確なニーズに合わせてカスタマイズされたスパッタリングシステムを作成できます。その優れた性能と信頼性により、MLX-3000Nは大規模な生産に最適です。