中古 ULVAC MLX-3000N #9156850 を販売中

アルバックMLX-3000Nは、さまざまな用途で高品質の薄膜を製造できる高性能スパッタリング装置です。このシステムは、六角形のメインチャンバー、サイドチャンバー、ボトムチャンバーを備えたマルチチャンバー構造で、最大の柔軟性を提供します。これは、円形および長方形の陰極、デュアルマグネトロン源、およびアンバランスマグネトロン源など、さまざまなスパッタリング源を提供します。先進的なオンボードICRF電源、複数のプラズマ監視オプション、クローズドループ・プロセス制御などの高度な機能を採用しています。MLX-3000Nは調節可能な沈殿率、イオン砲撃の強度および幅の制御の十分にプログラム可能な単位で、精密な圧力制御および優秀なフィルム質を可能にします。このマシンには、リアルタイムのプロセス監視と制御のための光放射分光計も含まれています。ULVAC MLX-3000Nは、金属、誘電体、酸化物、窒化物など、さまざまな薄膜を製造することができます。このツールは、低圧および高圧反応スパッタリングプロセスの両方に対応するように設計されており、幅広い用途に対応できます。また、ULVAC EXA900シリーズのPVD成膜システムと完全に互換性があり、資産へのプロセスの迅速な転送を可能にします。統合されたアニーリングステーションは、非常に薄い金属膜の堆積を可能にし、冷却部品はフィルムの均一性を維持するのに役立ちます。最後に、MLX-3000Nはユーザーが単一のインターフェイスからモデル全体を制御することを可能にするさまざまなソフトウェアパッケージを利用します。ソフトウェアはULVAC ICRF電源と完全に互換性があり、GLASSプログラムの利用は複雑なプロセスの開発と試運転の時間を短縮します。ULVAC Sputter Process Monitor （SPM）ソフトウェアは、プロセスの信頼性を最大化するために、蒸着プロセス全体を完全に制御することもできます。結論として、ULVAC MLX-3000Nは、さまざまなアプリケーションのための望ましい要件を満たすための機能と機能の広い範囲を提供する高性能スパッタリング装置です。システムのマルチチャンバー構造、高度なオンボード機能、プログラマビリティ、ソフトウェア互換性により、高精度の薄膜蒸着に最適です。