中古 ULVAC MLX-3000 #293740221 を販売中

アルバックMLX-3000は、ハイエンド半導体製造プロセス向けに設計されたスパッタ装置です。このシステムは、低コストで高性能で信頼性の高いスパッタリングを提供します。これは、従来のスパッタリングシステムよりも低い電力と高い動作効率を提供する中周波マグネトロンを使用しています。MLX-3000は最も高い沈着率を有し、アルミニウム、銅、金、ニッケル、コバルトおよびチタンを含むさまざまな材料を、放出することができます。このユニットはまた、追加部品なしで結晶方向制御を行うことができ、生産プロセスを簡素化し、より一貫した製品を確保するのに役立ちます。ULVAC MLX-3000は、スパッタ蒸着速度の向上、基板とプラズマの相互作用の低減、特定のコーティングのスパッタリングプロセスの最適化など、従来のスパッタリングシステムに比べていくつかの利点があります。また、特定の材料に最適なコーティング角度を提供できる高精度角度制御機を搭載しています。さらにプロセスを最適化するために、MLX-3000には、ガス流量モニター、温度コントローラ、コーティング厚モニタなど、さまざまな高度な機能があります。ULVAC MLX-3000は、精度0。1％ ±の高精度な電源設計により、市場で最も効率的で精密なスパッタリングシステムの1つです。さらに、操作パネルが簡素化されているため、ユーザーはツールを素早く簡単にセットアップおよび操作できます。さらに、事故が発生した場合にすぐに資産をオフにする緊急停止を含む、改善された安全機能を提供します。MLX-3000は大量生産のために設計されており、その真空チャンバーは、マルチスパッタリング、または薄膜成膜やエッチングなど、さまざまなプロセスに使用することができます。さまざまな標準的なターゲット材料と互換性があり、ラボや製造ニーズに最適です。最後に、このモデルには包括的な保証が付属しており、あらゆる生産環境のニーズを確実に満たすことができます。