中古 ULVAC MCH-9000 #9269413 を販売中

ULVAC MCH-9000は、薄膜コーティング、ナノ材料、およびその他の超薄膜の製造に使用するために設計されたハイエンドスパッタ装置です。このシステムは、スラリーコーティングされた金属ターゲットがスパッタされたメインソースチャンバーと、それが進むにつれて反応をサポートする補助チャンバーで構成されています。スパッタリングを開始するには、アルゴンなどの不活性ガスをメインチャンバーに供給し、目標材料に無線周波数交流電流（RF-AC）を印加します。これにより、対象物質の単分子表面が自由イオンに分解され、次いで基板表面に対して推進される「スパッタイオン」になり、コーティングが形成されます。基板はガラスから金属まで様々な材料が可能であり、半導体や光学産業で幅広い用途に使用できます。MCH-9000は非常に多目的で、精密な結果を保障するためにいろいろな制御および特徴を含んでいます。その統合された高度なデジタルコントローラは、スパッタリング速度、スパッタ圧力、ガス流量などの正確な調整を可能にします。さらに、アルゴン損失を低減するように設計された先進的なガス循環機械と、作業環境を調節する真空圧力モニターおよび制御ツールが装備されています。また、診断およびプロセス制御のための統合モニタとレコーダーも備えています。これにより、オペレータは得られたコーティング厚さ、均一性、およびその他のパラメータを追跡および分析することができます。さらに、ULVAC MCH-9000には、過圧シャットオフスイッチ、低レベル警報、自動ガスシャットオフバルブなど、さまざまな安全システムが装備されています。全体として、MCH-9000は精密で高品質のスパッタリング結果を提供するように設計された高度なモデルです。その統合されたプロセス制御、診断機能、ガス循環システム、および安全システムは、厳しい薄膜コーティング堆積を必要とする研究または生産環境に最適です。