中古 ULVAC MCH-4500 #9226118 を販売中

アルバックMCH-4500は、薄膜成膜用の先進スパッタ装置です。4インチまでの超薄膜を基板に取り付けることができます。このシステムは、高周波マグネトロンスパッタリングを使用して、高い接着特性を持つ均一な膜を生成します。MCH-4500は、半導体、薄膜電気光学、多層ミラー、耐摩耗性コーティングなど、さまざまな研究および商業用途に適しています。アルバックMCH-4500は、スパッタリングされたフィルムの成膜速度と均一性を最大限に引き出す幅広い機能を備えています。このユニットの高周波マグネトロン電源は、最大5kWの電力を生成し、高い蒸着速度とフィルムの均一性を可能にします。さらに、金属と酸化物のターゲット材料を同時または別々にスパッタリングすることができ、反射鏡の層、電極または飽和吸収材の生産を可能にする高レートのスパッタリング堆積を組み込んでいます。このツールには、正確で反復可能な操作を保証するさまざまなコンポーネントが装備されています。4インウエハリフトユニットと自動化された膜厚測定アセットを搭載しており、薄膜蒸着のための基板の正確な取り扱いと監視が可能です。MCH-4500には、2段階のマスフローコントローラ、2つの独立した温度制御ユニット、オールインワンPC、クライアント/サーバーベースのソフトウェアコントロールモデル、および24-7監視装置も備えています。このセットアップは、信頼性の高い自動薄膜成膜体験を提供するように設計されています。さらに、システムには、ユーザーの安全を確保するための多くの安全機能が付属しています。これには、安全カメラユニットと、危険なレーザー放射からオペレータを保護する自動安全シャッター装置が含まれます。また、安全シャッター装置はフィルムの酸化を防ぎながら、微粒子が沈着室に侵入し汚染されるのを防ぎます。ULVAC MCH-4500は、信頼性の高い安全で自動化されたスパッタリングマシンで、様々な用途での信頼性の高い薄膜の成膜に適しています。その先進的なコンポーネントと機能を組み込むことで、幅広い用途に適した精密で均一な薄膜成膜が可能になります。このツールは、信頼性と効率的なスパッタリング資産を求める研究者やエンジニアにとって理想的な選択肢です。