中古 ULVAC IBS-6000 #9237376 を販売中

アルバックIBS-6000は、金属、酸化物材料、カーボンナノチューブの信頼性と均一な薄膜コーティングを提供することができる最先端のスパッタリング装置です。大容量の直流（DC）源を使用し、活発なイオン化を実現し、コーティングの均一性と蒸着効率を向上させます。システムのハイパワー/ハイスループット構造により、短いコーティング時間と幅広いプロセスウィンドウが可能になり、繰り返し実行が少なくなり、コスト削減が可能になります。IBS-6000は、遠隔操作を可能にする完全電動リモコン機能を備えており、自動研究アプリケーションに便利な機能です。フレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスは、プロセスパラメータをすばやく選択して最適化するためのナビゲートしやすいセットアップメニューをユーザーに提供します。このユニットのカスタマイズ可能なレシピとシーケンス機能により、ユーザーはスパッタリングなどのプロセスを正確なニーズに合わせて正確に調整することができます。アルバックIBS-6000は、アルバック特許取得済みのハイブリッドロータリースパッタリング技術を使用しています。この技術は、従来の単軸ロータリースパッタリングプロセスに経済的なソリューションを提供します。これにより、単軸回転器を使用する必要がなくなり、複数の単軸スパッタデバイスに関連するエネルギーとコストを節約できます。さらに、ハイブリッドロータリースパッタリングは、スパッタターゲットパターンと形状を正確に生成することができます。大気製品の温度は350°Cをはるかに下回るレベルで維持され、効率的で低温処理が可能です。さらに、剛性の高いフレーム設計と低重心化により、優れた安定性と振動絶縁性を実現しています。これらの機能を組み合わせることで、優れた加工性IBS-6000実現します。アルバックIBS-6000は、精密な原子層成膜と薄膜成膜を必要とする多くの産業および研究用途に最適です。マイクロエレクトロニクスデバイスやセンサーのパターニングと正確な成長制御が必要な場合に特に効果的なスパッタリングツールです。さらに、異常警報や緊急停止ロジックなどの安全関連機能IBS-6000内蔵しており、幅広い用途に最適です。