中古 ULVAC IBS-6000 #9053705 を販売中

アルバックIBS-6000は、薄膜成膜用に設計された洗練されたスパッタ装置です。このシステムは、無線周波数（RF）または直流（DC）電源を使用して、高エネルギー粒子を持つイオン化ガスを生成します。スパッタリングの過程で、このガスは蒸着室の中のターゲット材料に向けられます。ガスからのイオンがターゲット材料を爆撃すると、材料は薄膜に切断され、基板に堆積されます。IBS-6000はコンパクトな設計で、設置面積が小さく、高性能な操作性を備えています。このユニットは、高純度の低圧プロセスチャンバを使用しており、簡単に設定でき、異なるサイズと形状のサンプルを処理することができます。高度なデータ測定機は、基板温度、圧力、イオン電流を迅速に記録し、正確な蒸着プロセスを保証します。アルバックIBS-6000は精密なスパッタリング技術を提供するように設計されています。使いやすいソフトウェアによる自動化されたプロセス設定と、安定した膜厚を確保するために新たに開発されたシャッターメカニズムを備えています。また、高出力イオン源と直流電流モードを備えており、高効率の成膜を促進します。このアセットには、均一なスパッタ蒸着のための重力遮蔽マグネトロン機構と、正確なスパッタレート制御のための特別に開発された駆動ユニットも搭載されています。さらに、IBS-6000は、フィルム厚さ精度を確保するために、洗練されたin-situフィルム厚さモニターを備えています。このモニタリングモデルには、スパッタリングされた膜厚の変化をリアルタイムで検出するための連続膜厚測定技術が含まれています。ULVAC IBS-6000は、厚さが均一で一貫性のある薄膜を製造するために設計された汎用性の高い高性能スパッタ装置です。精密なアプリケーションと洗練されたシステムの組み合わせにより、多種多様な堆積プロジェクトにとって魅力的な選択肢となります。