中古 ULVAC Entron #9255982 を販売中

アルバック・エントロンは、半導体製造装置の設計、製造、流通におけるグローバルリーダーであるアルバック社が製造したスパッタ装置です。Entronスパッタリングシステムは、半導体デバイスの製造に使用される薄い層を形成するために、材料の薄膜を基板に堆積するのに理想的です。このユニットは物理蒸着（PVD）技術を使用しており、プラズマを使用して真空中の材料を蒸発させ、基板上で凝縮させることができます。これにより、原子的に安定した均一なフィルムが得られます。アルバックのEntronのスパッタリング機械は複数の部品から成っています、すべては効率および性能の最高レベルを達成するために協力するように設計されています。このツールの主成分はスパッタチャンバーであり、大気を避難させ、蒸着プロセスのための真空を作成するように設計されています。さらに、チャンバーにはロードロックが含まれており、低圧環境を維持するのに役立ち、チャンバーから基板を導入および除去するために使用されます。このアセットには、スパッタリング中の基板の向きを維持するための基板ホールディングチャックも備えています。Entronモデルは、スパッタチャンバー内に強い磁場を作り出す2組の磁気コイルを含むデュアルマグネトロンスパッタソースを使用しています。これらの磁場は、材料の蒸発を助けるプラズマ環境を作り出します。また、デュアルソースにより、スパッタリングの速度と基板上の材料の沈着速度を制御することができます。また、スパッタリングに使用する材料を導入するためにインレットを使用しています。最後に、ULVAC Entronシステムには、ユニット内のコンポーネントを制御し、スパッタリング処理中に安全な環境を維持するための制御ユニットが含まれています。これには、蒸着速度を制御するための圧力検出、温度制御、およびスローバルブなどの機能が含まれます。さらに、このユニットは、ユーザーがスパッタリングプロセスの設定を調整することを可能にし、蒸着の精度と制御を可能にします。Entronスパッタリングマシンは、材料の高品質の薄膜を基板に製造するために設計された先進的な製造ツールです。そのコンポーネントは、ユーザーに正確な制御と驚くべき特性を持つ信じられないほど均一なレイヤーを達成する能力を提供します。ULVAC Entronスパッタリングツールは、幅広い用途に最適で、さまざまな半導体デバイスの製造に使用できます。