中古 ULVAC Entron #9244852 を販売中

ULVAC Entronは、様々な成膜プロセスのための薄膜を作成するために使用される高度なスパッタリング装置です。Entronシリーズは、シングルターゲット、デュアルターゲット、3ステージの3モデルが用意されています。ULVAC Entronシステムは汎用性が高く、金属、セラミックス、高分子材料など、さまざまな材料をスパッタするために使用できます。それは単層または多層蒸着のために形成することができる3つのスパッタリングの陰極が装備されています。また、ターボ分子ポンプとRF電源を内蔵しており、スパッタ蒸着速度を調整することができます。また、誘導結合プラズマ（ICP）源と焦点電子ビーム（FEB）源を備え、蒸着プロセスを正確に制御します。Entronツールを使用して特定の材料をスパッタする場合、非常に細かい粉末から大きな固体片まで、さまざまなターゲットに対応できます。アセットには調整可能なバイアス電圧も備えており、スパッタリング速度とデポジットの均一性を微調整するために使用できます。ULVAC Entronは、スパッタリングプロセスが完了すると自動的に陰極と陽極表面をきれいにする自己クリーニングモデルです。これにより、すべての材料が相互汚染なしに適切に堆積することが保証されます。さらに、Entron装置には、チャンバー温度と圧力、プロセス時間、目標動作速度など、幅広い調整設定を提供する統合コントローラが付属しています。これにより、堆積プロセスを正確に制御できます。ULVAC Entronシリーズは、緊急時に自動的にプロセスを停止する高度な自動シャットダウンシステムを備え、安全性と信頼性を最大限に高めるように設計されています。これにより、すべての材料が最高の安全性と精度で処理されるようになります。全体的に、Entronシリーズは最高の安全および信頼性のために設計されている高度のスパッタリングユニットです。蒸着プロセスを正確に制御するとともに、完全なクロス汚染防止を実現します。ULVAC Entronマシンは、さまざまな蒸着プロセスのための非常に均一な薄膜を作成するために理想的です。