中古 ULVAC Entron #9235259 を販売中

ULVAC Entronは、さまざまな産業用途で材料の薄膜を堆積するために使用される最先端のスパッタ装置です。このシステムは、1x10-3Paのベースプレッシャーに達することができるハイエンド真空チャンバーを使用しており、このような精密な蒸着に適した制御環境を可能にします。チャンバー自体は非常に広々としており、さまざまな詳細で複雑な基板アセンブリを内部に配置することができます。Entronユニットは、4つのマグネトロンスパッタリングガンを使用しており、所望のフィルムパラメータに応じて幅広い動作圧力が可能です。これらの銃は、チタン、アルミニウム、クロム、ステンレス、および他の金属であることができるターゲット材料の広い範囲が可能です。各ガンは、他のガンとは独立して動作するか、または同時にスパッタリングするために同期することができます。これは、すでにマシンのかなりの制御に追加され、真に汎用性の高い堆積オプションになります。ULVAC Entronツールには、アウトガス、圧力、およびその他のパラメータをリアルタイムで測定する多数のゲージとセンサーが装備されています。これらのセンサは膨大なデータをオペレータに提供し、堆積プロセス全体で精密な調整を行うことができ、結果として得られたフィルムをより大きな制御することができます。Entronは、薄膜成膜をより制御するための非常に効果的で正確なスパッタリングアセットオプションです。基板アセンブリ配置、フィルムパラメータの制御が可能で、非常に立派なベースプレッシャーで動作します。その4つのマグネトロンガンは独立してまたは並行して動作することができ、市場にある他の多くのシステムよりも汎用性が高く、幅広い産業用途に最適です。