中古 ULVAC Entron #9150538 を販売中

アルバックエントロンは、薄膜材料の成膜用に設計された先進的なスパッタリング装置です。このシステムは、直流、パルスDC、ダイレクトスパッタリングを使用して、1つのユニットにさまざまな蒸着プロセスを提供します。また、温度、圧力、ガスの流れを正確に制御し、最適な成膜を保証するように設計されています。Entronはコンパクトな設計で、他のより大きなスパッタリングシステムよりも明確な利点を提供します。その小さなフットプリントと高い電力能力により、それは研究および実験室のアプリケーションだけでなく、工業生産に適しています。このマシンは、最大4つの電源で構成することができ、各電源は幅広い電力レベルを提供することができます。さらに、すべてのソースを独立してまたは組み合わせて操作して、正確な蒸着を可能にする正確な制御を提供することができます。均一で密なフィルムを提供するため。最適なフィルム品質を確保するために、ULVAC Entronには、不活性ガス供給、クライオポンプ、温度制御など、いくつかのオプションを装備できます。このツールは、反応ガスの使用を可能にするために、複数のガスおよび水中ポンプとも互換性があります。Entronアセットはまた、プロセスの安定性の最高度とガス漏れポイントの最低数を提供しています。これにより、汚染を最小限に抑え、長期的に再現可能なスパッタ蒸着プロセスを実現します。さらに、他のスパッタリングシステムと比較して低消費電力です。ULVAC Entronは、複数のアプリケーションに適した汎用性の高い機器です。用途の例には、誘電体、金属、セラミックス、さらには透明導電材料の堆積があります。また、薄膜成膜時に高い再現性と精度を提供します。これらの利点を考慮すると、Entronは、信頼性と再現性の高い結果を必要とする小規模および大規模なスパッタ堆積プロジェクトの両方に適しています。